LNOI晶圓:"超低損耗·超高調(diào)制·重新定義光子集成極限"LNOI晶圓通過(guò)離子切片技術(shù)實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)單晶鈮酸鋰薄膜(300-800nm)與SiO?絕緣層的異質(zhì)集成,電光系數(shù)高達(dá)30 pm/V,光學(xué)損耗<0.2 dB/cm。其在400-4000nm寬波段透明,支持>100GHz調(diào)制帶寬,是高速光調(diào)制器、頻率梳和量子光源的理想載體。上海知明提供4/6英寸LNOI晶圓,助力客戶實(shí)現(xiàn)從實(shí)驗(yàn)室到量產(chǎn)的跨越。
LNOI晶圓特性與典型應(yīng)用

1、超高電光系數(shù)
特性:具有30 pm/V的超高電光系數(shù),是傳統(tǒng)硅材料的40倍,可實(shí)現(xiàn)高效電光轉(zhuǎn)換。
應(yīng)用:可應(yīng)用于100Gbps以上高速光調(diào)制器,滿足數(shù)據(jù)中心高速互連需求。

2、超低光學(xué)損耗
特性:傳播損耗低于0.2 dB/cm@1550nm,保持信號(hào)傳輸完整性。
應(yīng)用:特別適合長(zhǎng)距離光子集成電路設(shè)計(jì),提升系統(tǒng)能效比。

3、寬波段透明
特性:在400-4000nm寬波長(zhǎng)范圍內(nèi)保持優(yōu)異透光性。
應(yīng)用:可用于多波長(zhǎng)量子光源生成,支持量子通信系統(tǒng)。

4、高非線性效應(yīng)
特性:χ?²?非線性系數(shù)超過(guò)30pm/V,支持高效非線性光學(xué)轉(zhuǎn)換。
應(yīng)用:是光學(xué)頻率梳發(fā)生器的理想平臺(tái),可用于精密測(cè)量。

5、高速調(diào)制特性
特性:支持100GHz以上調(diào)制帶寬,響應(yīng)時(shí)間達(dá)納秒級(jí)。
應(yīng)用:適用于800G/1.6T光模塊核心芯片,推動(dòng)數(shù)據(jù)中心升級(jí)。
知明相關(guān)產(chǎn)品

1. 硅光芯片混合集成
開發(fā)低溫等離子鍵合工藝(<250℃),實(shí)現(xiàn)LNOI調(diào)制器與硅光探測(cè)器的單片集成,3dB帶寬>90GHz,插入損耗<3dB,適用于CPO共封裝光學(xué)架構(gòu)。
2. 氮化硅平臺(tái)互補(bǔ)
通過(guò)納米級(jí)對(duì)準(zhǔn)技術(shù)構(gòu)建LNOI-Si?N?混合波導(dǎo),其中Si?N?負(fù)責(zé)低損耗傳輸(<0.1dB/cm),LNOI實(shí)現(xiàn)高效電光調(diào)制(VπL<1V·cm),同時(shí)利用χ?²?非線性實(shí)現(xiàn)全光邏輯功能。

3. 磷化銦器件對(duì)接
采用端面反射鏡和微透鏡陣列,實(shí)現(xiàn)LNOI調(diào)制器與InP激光器的低損耗耦合(<1dB),集成模塊尺寸<0.5cm³,適用于可插拔光模塊(QSFP-DD封裝)。

4. 柔性電子拓展
采用端面反射鏡和微透鏡陣列,實(shí)現(xiàn)LNOI調(diào)制器與InP激光器的低損耗耦合(<1dB),集成模塊尺寸<0.5cm³,適用于可插拔光模塊(QSFP-DD封裝)。
知明服務(wù)
1. 定制化晶圓:支持薄膜厚度(200-1000nm)、晶向(X/Y/Z切型)定制
2. 圖形化加工:提供<100nm線寬的離子束刻蝕服務(wù)
3. 測(cè)試驗(yàn)證:配備晶圓級(jí)電光參數(shù)測(cè)試平臺(tái)
4. 小批量供應(yīng):6英寸晶圓月產(chǎn)能500片
5. 技術(shù)培訓(xùn):提供LNOI設(shè)計(jì)PDK及流片指導(dǎo)